[2021-03-13]
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點光譜共焦測量顯微系統(tǒng)特點：
1、物鏡可以選用獨立接口，也可以選用6孔鼻輪模組連接；
2、對國內(nèi)外主流物鏡均可適配；
3、光譜共焦模塊結(jié)構(gòu)簡潔、測量精度高、速度快；
4、適合對觀測面反射率高的表面適用，對透明物體表面同樣適用；
5、光譜共焦模塊測量與主成像光路共軸，不存在遮擋問題，且對焦檢測光斑小，可以對槽、孔、凹坑等精準測量。
6、支持微分干涉觀測方式；
7、可以與運動控制單元整合實現(xiàn)高速精準對焦。?
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